Nichkalo, Stepan I.Yerokhov, Valeriy Y.Druzhinin, Anatoly A.Ierokhova, Olga V.2020-11-182020-11-182017Formation of antireflective silicon surfaces by electrochemical and chemical methods / Stepan I. Nichkalo, Valeriy Y. Yerokhov, Anatoly A. Druzhinin, Olga V. Ierokhova // Information and telecommunication sciences : international research journal. – 2017. – Vol. 8, N. 1(14). – Pp. 51–56. – Bibliogr.: 28 ref.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/37461enantireflective coatingporous siliconsolar cellelectrochemical etchingmetal-assisted chemical etchingантивідбивне покриттяпористий кремнійсонячний елементелектрохімічне травленняметал-каталітичне хімічне травленняантиотражающее покрытиепористый кремнийсолнечный элементэлектрохимическое травлениеметалл-каталитическое химическое травлениеFormation of antireflective silicon surfaces by electrochemical and chemical methodsСтворення кремнієвих антивідбивних поверхонь електрохімічним та хімічним методамиСоздание кремниевых антиотражающих поверхностей электрохимическим и химическим методамиArticlePp. 51-56https://doi.org/10.20535/2411-2976.12017.51-56621.315.592