Якименко, Юрій ІвановичЩеглаков, В`ячеслав Дмитрович2023-03-012023-03-012022Щеглаков, В. Д. Мікроелектронні сенсори для систем контролю якості повітря чистих зон : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Щеглаков В`ячеслав Дмитрович. – Київ, 2022. – 119 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/53191ukмікро-електро-механічна система (МЕМС)сенсор лінійної швидкості повітрятермоізольована мікромеханічна структурасенсор концентрації забруднюючих механічних часток в повітрівисокоефективний (HEPA) фільтр механічної очистки повітря чистих зоншафа біологічної безпекисенсор температури, вологості та барометричного тиску повітрямікроконтролер з вбудованим бездротовим інтерфейсомпоказники якості повітряMaster Thesis119 с.