Якименко, Юрій ІвановичЩеглаков, В`ячеслав Дмитрович2023-03-012023-03-012022Щеглаков, В. Д. Мікроелектронні сенсори для систем контролю якості повітря чистих зон : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Щеглаков В`ячеслав Дмитрович. – Київ, 2022. – 119 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/53191Мета роботи: Розробка сенсорної системи контролю якості повітря в чистих зонах з можливістю бездротової передачі вимірюваних даних. Рекомендації щодо використання результатів даних досліджень: Розроблена в даній роботі сенсорна система для моніторингу якості повітря наочно демонструє можливість створення конструктивно та функціонально подібного пристрою для практичних потреб, а саме для періодичного сервісного обслуговування шаф біологічної безпеки другого класу і приміщень лабораторій, в яких необхідно створювати вільні від механічних часток повітряні зони, періодично вимірювати показники повітря в них, проводити діагностику поточного стану їх HEPA чи ULPA фільтрів, а також для навчальних цілей в названих галузях і під час підготовки технічних спеціалістів мікро- та наносистемної техніки. Розроблена система дозволить проводити комплексні багатопараметричні вимірювання, коли необхідно одночасно реєструвати декілька величин фізичних параметрів, враховувати їх поточні значення і взаємний вплив. Можливість бездротової передачі даних на комп’ютер дозволить віддалено отримати результати і створити на їх основі таблицю в реальному часі вимірювань та побудувати інтерактивні графіки. Таким чином, користувач обладнання чи інженер зможуть дистанційно протоколювати та аналізувати результати вимірювань, які проводились упродовж тривалого періоду часу без присутності людини в чистій зоні. Використання такого приладу може значно покращити робочий процес на обладнанні чистих зон, а також процес проведення навчальних занять з відповідних дисциплін чи під час виконання лабораторних робіт. Важливо відмітити, що дана система з відкритим програмним кодом надає можливість перепрограмування, що дозволить використовувати не тільки надане розробником стандартне програмне забезпечення, а також дозволить користувачеві його модифікувати чи створити власне, яке буде задовольняти специфічні задачі та надавати можливість проведення більш гнучких, складних чи специфічних вимірювань.ukмікро-електро-механічна система (МЕМС)сенсор лінійної швидкості повітрятермоізольована мікромеханічна структурасенсор концентрації забруднюючих механічних часток в повітрівисокоефективний (HEPA) фільтр механічної очистки повітря чистих зоншафа біологічної безпекисенсор температури, вологості та барометричного тиску повітрямікроконтролер з вбудованим бездротовим інтерфейсомпоказники якості повітряMaster Thesis119 с.