Коваль, Вікторія МихайлівнаКуліш, Дмитро Олександрович2019-01-172019-01-172018Куліш, Д. О. Технологія синтезу масиву кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Дмитро Олександрович Куліш. – Київ, 2018. – 95 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/25861Дипломну роботу викладено на 95 сторінках, вона містить 4 розділи, 36 ілюстрацій, 39 таблиць та 43 джерела в переліку посилань. Об’єктом розгляду є наноструктури, утворені методом метало-стимульованого хімічного травлення на кремнієвих пластинах, для виготовлення сонячних елементів. Метою роботи є синтез масиву нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення для використання в сонячних елементах. У першому розділі наведені теоретичні відомості про фізичні основи синтезу кремнієвих наноструктур з високим аспектним відношенням для фотовольтаїки, методи синтезу кремнієвих наноструктур, фізичну сутність та кінетику процесу метало-стимульованого хімічного травлення кремнієвих пластин та фотоелектричні пристрої на основі кремнієвих нанониток. У другому розділі представлено опис технології синтезу кремнієвих наноструктур методом метало-стимульованого хімічного травлення, дослідження впливу технологічних режимів на структурні особливості синтезованих наноструктур методами оптичної, електронної та атомно-силової мікроскопії та проаналізовано оптичні спектри відбивання від поверхні кремнієвих пластин, що містять синтезовані наноструктури. У третьому розділі наведено технологічний маршрут виготовлення сонячних елементів на основі кремнієвих нанониток та вплив структурних особливостей синтезованих наноструктур на фотоелектричні характеристики приладів. У четвертому розділі сформована ідея стартап-проекту, а також висвітлені конкурентні переваги та недоліки такого методу як цілісного продукту на ринку.ukметало-стимульоване хімічне травленнянанониткинаноструктурисонячні елементиmetal-stimulated chemical etchingnanowiresnanost ructuressolar cellsMaster Thesis95 с.621.38