Канашевич, Г. В.Голуб, М. В.Антонюк, В. С.Слєпцов, В. Ф.Kanashevych, H. V.Holub, M. V.Antonyuk, V. S.Slyeptsov, V. F.Канашевич, Г. В.Голуб, Н. В.Антонюк, В. С.Слепцов, В. Ф.2014-07-282014-07-282014Перспективи використання поверхневої електронно-променевої обробки оптичного і технічного скла / Г. В. Канашевич, М. В. Голуб, В. С. Антонюк, В. Ф. Слєпцов // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2014. – Вип. 47(1). – С. 127–136. – Бібліогр.: 18 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/8229ukприладобудуванняелектронний потікелектронно-променева обробкаелектронно-променева мікрообробкаповерхневий шар склаоптичне склотехнічне скломікрооптикаінтегральна оптикаMOEMSinstrument engineeringelectron flowelectron beam treatmentelectron beam microtreatmentsurface layer of glassoptical glasstechnical glassmicro opticsintegrated opticsприборостроениеэлектронный потокэлектронно-лучевая обработкаэлектронно-лучевая микрообработкаповерхностный слой стеклаоптическое стеклотехническое стекломикрооптикаинтегральная оптикаArticleС. 127-136621.373.826.038