Бондаренко, Максим Олексійович2019-02-132019-02-132019Бондаренко, М. О. Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки : автореф. дис. … д-ра техн. наук : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / Бондаренко Максим Олексійович. – Київ, 2019. – 44 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/26338Робота виконана в Черкаському державному технологічному університеті Міністерства освіти і науки України на кафедрі фізики.ukнеруйнівний контрольатомно-силова мікроскопіякліматичні факториробочі параметримікросистемна технікаточністьчутливістьвідтворюваністьnon-destructive controlatomic-force microscopyclimatic factorsoperation parametersmicrosystem technologyaccuracysensitivityreproducibilityнеразрушающий контрольатомно-силовая микроскопияклиматические факторырабочие параметрымикросистемная техникаточностьчувствительностьвоспроизводимостьThesis44 с620.179.1:[681.723.2+681.385.85] (043.3)