Воронько, Андрій ОлександровичТкаленко, Яна Юріївна2023-09-082023-09-082023Ткаленко, Я. Ю. Джерело оптичного випромінювання для пірометра-рефлектометра : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ткаленко Яна Юріївна. – Київ, 2023. – 62 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/60101Роботу викладено на 62 сторінках, вона містить 3 розділи, 30 ілюстрацій, 3 таблиці та 39 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є джерело випромінювання для пірометричної системи, що складається з системи колімації та інфрачервоного світлодіода. Предмет роботи – дослідження параметрів інфрачервоного світлодіода та створення оптичної схеми для колімованого джерела випромінювання. Мета роботи – створити колімоване джерело випромінювання з використанням ІЧ світлодіоду для пірометра-рефлектрометра для прецинзійного вимірювання температури в діапазоні 450-1200°C. В першому розділі подаються основні теоретичні відомості про класичні, двопроменеві, волоконно-оптичні пірометри та пірометри з компенсацією випромінювання. В другому розділі розглядаються теоретичні основи процесу газової епітаксії та пірометрії з компенсацією випромінювання. В третьому розділі досліджуються параметри випромінювача в якості якого використовується ІЧ світлодіод. Обґрунтовується необхідність колімації для забезпечення прецизійності визначення параметрів поверхні епітаксійних шарів за допомогою пірометра. Розглядається класичний дизайн оптичного коліматора, на основі якого розроблюється джерело оптичного випромінювання для системи пірометрії.62 с.ukпірометр-рефлектрометрпірометрія із компенсацією випромінюванняепітаксія тонких плівок з газової фазиpyrometer-reflectrometerpyrometry with emissivity compensationvapour-phase epitaxy of thin filmsBachelor Thesis