Борисов, Олександр ВасильовичКоролевич, Любомир Миколайович2021-09-172021-09-172021Королевич, Л. М. Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 - твердотільна електроніка / Королевич Любомир Миколайович. – Київ, 2021. – 150 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/43828ukМДН-структуракритерій вибору діелектрикаhigh-kдіелектрикпитома ємність заслонуефективний заряд в діелектрикущільність поверхневих станівміжвузловий аспект кристалічної решіткиMIS structureinsulator choosing criterionhigh-k dielectricspecific gate capacitanceeffective charge in the dielectricsurface charge densityinterstitial aspect of crystalline latticeМДП-структуракритерий выбора диэлектрикадиэлектрикудельная емкость затвораэффективный заряд в диэлектрикеплотность поверхностных состояниймежузловой аспект кристаллической решеткиThesis Doctoral150 с.621.382