Филатов, Юрий ДаниловичСидорко, Владимир ИгоревичЮрчишин, Оксана ЯрославовнаFilatov, Yu.Sidorko, V.Yurchyshyn, O.2017-06-082017-06-082016Филатов Ю. Д. Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники / Филатов Ю. Д., Сидорко В. И., Юрчишин О. Я. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2016. – № 1(76). – С. 133–138. – Бібліогр.: 10 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19606ruполированиемонокристаллынаночастицыколлоидная системашероховатостьполіруваннямонокристалинаночастинкиколоїдна системашорсткістьSingle crystalsnanoparticlescolloidal systemroughnessНанополирование подложек для оптики и микроэлектроникиNano-polishing substrates for optics and microelectronicsArticleС. 133-138http://dx.doi.org/10.20535/2305‐9001.2016.76.67243621.923