Казаченко, Г. А.Гераїмчук, М. Д.Kazachenko, G. A.Geraimchuk, M. D.Казаченко, Г. А.Гераимчук, М. Д.2014-12-032014-12-032008Казаченко Г. А. Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем / Казаченко Г. А., Гераїмчук М. Д. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2008. – Вип. 35. – С. 135–142. – Бібліогр.: 14 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/9617ukРозвиток та стан мікроелектромеханічних системСondition and development of microelectromechanical systemsРазвитие и состояние микроэлектромеханических системArticleС. 135-142681.586+531.76