Перевертайло, Володимир ВолодимировичКузьмичєв, Анатолій Іванович2020-04-222020-04-222017Перевертайло, В. В. Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль / Перевертайло В. В., Кузьмичєв А. І. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2017. – Т. 22, № 6(101). – С. 12–17. – Бібліогр.: 13 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33040ukгенерація надвисокочастотної плазминизькотемпературна плазмаеванесцентні хвилінадисокочастотний генераторmicrowave plasma generationlow-temperature plasmaevanescent wavesmicrowave generatorгенерация сверхвысокочастотной плазмынизкотемпературная плазмаэванесцентные волнысверхвысокочастотный генераторГенерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвильMicrowave plasma generation using evanescent wavesГенерация сверхвысокочастотной плазмы при помощи эванесцентных волнArticleС. 12-17https://doi.org/10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023621.38