Євтушенко, Арсеній ІвановичТихоненко, Михайло Валерійович2022-02-082022-02-082021Тихоненко, М. В. Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Тихоненко Михайло Валерійович. – Київ, 2021. – 55 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/46251ukоксид цинкуосадження тонких плівокмагнетронне напиленнявисокочастотне магнетронне напиленнянапруга зміщення підкладкиZnO:AlMaster Thesis55 с.