Євтушенко, Арсеній ІвановичТихоненко, Михайло Валерійович2022-02-082022-02-082021Тихоненко, М. В. Осадження легованих Al плівок ZnO методом магнетронного розпилення при зміні напруги підкладки : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Тихоненко Михайло Валерійович. – Київ, 2021. – 55 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/46251Магістерська дисертація присвячена темі дослідження впливу напруги підкладки на основні характеристики тонких плівок. Метою роботи є аналіз властивостей тонких плівок оксиду цинку, легованого алюмінієм, осаджених магнетронним методом при зміні напруги підкладки. В роботі розглянуто основні матеріали прозорих провідних оксидів. Описано принцип роботи методів осадження тонких плівок, із зазначеними перевагами та недоліками цих методів. Розглянуто три методи магнетронного напилення та обрано з них найбільш оптимальний варіант для досліджень. Проведено експеримент з декількома зразками плівок які напилювались при різних напругах підкладки. Було проаналізовано результати оптичних, структурних, і електричних характеристик цих зразків, а також обговорено результати досліду.ukоксид цинкуосадження тонких плівокмагнетронне напиленнявисокочастотне магнетронне напиленнянапруга зміщення підкладкиZnO:AlMaster Thesis55 с.