Бондаренко, Максим ОлексійовичБілокінь, Світлана Олександрівна2015-11-052015-11-052014Білокінь С. О. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні : дис. ... канд. техн. наук. : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / С. О. Білокінь. - Черкаси, 2014. - 178 л. + CD-ROMhttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/13700ukДисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.точність діагностуваннякремнієвий зондатомно-силова мікроскопіятонке покриттянанорельєфмікротвердістьточность диагностированиякремниевый зондатомно- силовая микроскопиятонкое покрытиенанорельефмикротвердостьexactness of diagnosticatingsilicic probeatomic-force microscopythin coveragenanoreliefmicrohardnessThesis Doctoral179 л.681.2:620.1 (043)