Кузьмичёв, Анатолий ИвановичЦыбульский, Леонид Юрьевич2013-12-272013-12-272013Цыбульский Л. Ю. Разработка научных основ моделирования и конструирования усовершенствованных индукционных испарителей : дис. ... канд. техн. наук. : 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника / Л. Ю. Цыбульский. – К., 2013. – 260 л. + СD-ROMhttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/6484ruДисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.індукційний випарникпаровий потікелектричний розрядіонізація паримасоперенососадженнятонкі плівкирадіаційна стійкість МОН-структуриндукционный испарительпаровой потокэлектрический разрядионизация парамассоперенососаждениетонкие плёнкирадиационная стойкость МОП-структурinduction evaporatorvapor flowelectrical dischargevapor ionizationmass transferdepositionthin filmsradiation resistance of MOS-structuresThesis Doctoral260 л.621:389; 621.3.01