Дубінець, Владислав ІвановичБурлаченко, Олександр Сергійович2019-01-152019-01-152018Бурлаченко, О. С. Дослідження та оптимізація МЕМС акселерометра : магістерська дис. : 152 Метрологія та інформаційно-вимірювальна техніка / Бурлаченко Олександр Сергійович. – Київ, 2018. – 102 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/25802ukмэмс – технологияжесткость упругого подвесасобственная частотамеханический шумсмещение пружиныComsol MultiphysicsДослідження та оптимізація МЕМС-акселерометраMaster Thesis102 с.681.2.009