Королевич, Любомир НиколаевичБорисов, Александр ВасильевичМаксимчук, Наталья Владимировна2020-05-072020-05-072019Королевич, Л. Н. Влияние методов получения тонких пленок оксида церия на вольт-фарадные характеристики МДП-структур / Королевич Л. Н., Борисов А. В., Максимчук Н. В. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 3(110). – С. 13–19. – Бібліогр.: 9 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33300ruтонкие пленкиоксид церияМДП-структуравольт-фарадные характеристики (ВФХ)система зарядовэффективный зарядповерхностный потенциалтонкі плівкиоксид церіюМДН-структуравольт-фарадні характеристики (ВФХ)система зарядівефективний зарядthin filmscerium oxideMIS-structurecapacitance-voltage characteristics (CV characteristics)charge systemeffective chargeВлияние методов получения тонких пленок оксида церия на вольт-фарадные характеристики МДП-структурВплив методів отримання тонких плівок оксиду церію на вольт-фарадні характеристики МДН-структурInfluence of the Cerium Oxide Thin Film Produc-Tion Methods on the Capacitance-Voltage Charac-Teristics of the Mis StructuresArticleС. 13-19https://doi.org/10.20535/2523-4455.2019.24.3.178484621.382