Литвин, Петро Мар’яновичМалюта, Сергій Васильович2023-01-092023-01-092022Малюта, С. В. Особливості застосування нанотехнологій зондової мікроскопії в діагностиці та направленій модифікації поверхонь напівпровідникових наноструктур і 2D матеріалів : дис. … д-ра філософії : 153 – Мікро- та наносистемна техніка / Малюта Сергій Васильович. – Київ, 2022. – 156 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/51766ukскануюча зондова мікроскопіяатомно-силова мікроскопіяатомно-силова спектроскопіяпровідна атомно-силова мікроскопіясилова Кельвінзонд мікроскопіяскануюча мікроскопія опору розтіканняскануюча ємнісна мікроскопіянанопористі вуглецеві плівкинапівпровідникові синтетичні алмазиGeSnстаногерманидиscanning probe microscopyatomic force microscopyatomic force spectroscopyconducting atomic force microscopyKelvin probe force microscopyscanning spreading resistance microscopyscanning capacitive microscopynanoporous carbon filmssemiconducting synthetic diamondsОсобливості застосування нанотехнологій зондової мікроскопії в діагностиці та направленій модифікації поверхонь напівпровідникових наноструктур і 2D матеріалівThesis Doctoral156 с.538.9, 539.2, 539.3, 620.3