Скиба, І. В.2023-03-302023-03-302020Скиба, І. В. Сенсор освітленості на основі кремнієвих нанониток / Скиба І. В. // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2020. – Т. 3, № 3. – С. 5-10. – Бібліогр.: 10 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/54127У статті розглянуто синтез кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення (МСХТ) у різних технологічних режимах. На основі отриманих зразків були синтезовані діодні сенсори освітленості, для яких було розраховано чутливість у фотодіодному (до 1,53 мА/лмВ) та фотогенераторному (304 мА/Вт) режимах. На основі отриманих результатів були встановлені оптимальні технологічні режими синтезу кремнієвих нанониток для використання їх в сенсорах освітленості. Найоптимальнішим з них виявився режим з часом проведення першого етапу МСХТ 40 c, часом проведення другого етапу 30 хв та об'ємом перекису водню на рівні 0,8 мл.ukметало-стимульоване хімічне травленнясенсор освітленостічутливістьmetal-assisted chemical etchinglight sensorsensitivityArticleС. 5-10https://doi.org/10.20535/2617-0965.2020.3.3.198610621.3