Верцанова, Олена ВікторівнаВойтенко, Богдан Олександрович2021-07-122021-07-122021Войтенко, Б. О. Віртуальна метрологія контролю якості напівпровідникових пластин : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Войтенко Богдан Олександрович. – Київ, 2021. – 60 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/42317ukвіртуальна метрологіябезперервний контрольконтроль напівпровідникових пластинадаптивне оновленняcontrol of semiconductor wafersadaptive updatecontinuous controlvirtual metrologyВіртуальна метрологія контролю якості напівпровідникових пластинBachelor Thesis60 с.