Верцанова, Олена ВікторівнаВойтенко, Богдан Олександрович2021-07-122021-07-122021Войтенко, Б. О. Віртуальна метрологія контролю якості напівпровідникових пластин : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Войтенко Богдан Олександрович. – Київ, 2021. – 60 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/42317Дипломну роботу виконано на 61 аркуші, вона містить перелік посилань на використані джерела з 48 найменувань. У роботі наведено 12 рисунків та 6 таблиць. Метою роботи є аналіз існуючих систем віртуальної метрології для контролю якості напівпровідникових пластин. Аналіз безперервного контролю та його переваг, а також важливості адаптивного оновлення. У цій роботі будуть розглянуті методи створення систем ВМ, методики та алгоритми які використовуються при їх створенні, такі як, наприклад, покрокова лінійна регресія, дерево рішень, GA з лінійної регресією, GA з опорної векторної регресією (SVR), PCA і KPCA. Також буде розглянуто підвищення продуктивності системи ВМ за допомогою безперервного контролю. В кінці, ми розглянемо використання адаптивного оновлення системи віртуальної метрології, та проаналізуємо його важливість. У першому розділі дипломної роботи було розглянуто дослідження з використанням віртуальної метрології для контролю якості напівпровідникових пластин. У другому розділі дипломної роботи було розглянуто поетапне створення системи віртуальної метрології, в котрій, до того ж, було покращено продуктивність шляхом використання безперервного контролю, та наглядне порівняння такої системи з системою без безперервного контролю. У третьому розділі було представлено систему віртуальної метрології з адаптивним оновленням, присутні також пояснення чому адаптивне оновлення необхідне та як воно працює. У четвертому розділі я проаналізував використання методу віртуальної метрології для контролю напівпровідникових пластин.ukвіртуальна метрологіябезперервний контрольконтроль напівпровідникових пластинадаптивне оновленняcontrol of semiconductor wafersadaptive updatecontinuous controlvirtual metrologyBachelor Thesis60 с.