2013-04-132013-04-132012Лабораторний практикум з дисципліни «Електронні сенсори» для студентів напряму підготовки 6.070801 «Мікро-та наноелектроніки» освітньо-кваліфікаційного рівня бакалавр за спеціальністю «Фізична та біомедична електроніка» [Електронний ресурс] / НТУУ «КПІ» ; уклад. Т. Ю. Білик, Т. А. Саурова, О. М. Шмирєва. – Електронні текстові дані (1 файл: 3,56 Мбайт). – Київ : НТУУ «КПІ», 2012. – 52 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/2623Повний текст документа доступний лише в локальній мережі університетуukтонкоплівочний датчик температуриконструкція датчика температурипроцес фотолітографіїдатчики вологостіпринцип дії кремнієвих фотоприймачівфотодіодиLearning Object