Іващук, Анатолій ВасильовичДимченко, Оксана Ігорівна2019-01-212019-01-212018Димченко, О. І. Формування сонячних елементів на текстурованих підкладках монокристалічного кремнію, пасивованих діелектричними шарами : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Оксана Ігорівна Димченко. – Київ, 2018. – 91 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/25932Дипломну роботу викладено на 90 сторінках, вона містить 5 розділів, 28 ілюстрацій, 23 таблиць та 64 джерел в переліку посилань. Об’єктом розгляду є фоточутливі структури отримані на пластинах монокристалічного кремнію пірамідально-текстурованих з впорядкованими масивами нанодротів. Метою даної роботи є розробка технологічного маршруту формування сонячних елементів на текстурованих підкладках монокристалічного кремнію, пасивованих діелектричними шарами. Метою досліджень є отримання технологічного маршруту формування сонячного елемента, фото-електричних параметрів фоточутливих структур з впорядкованими масивами нанодротів та дослідження їх залежності від геометричних парметрів нанодротів. Кінцевим результатом роботи є отримання технологічного маршруту формування сонячного елемента на текстурованих підкладках монокристалічного кремнію, пасивованого діелектричними шарами. Галузь застосування: отримані дані можуть використовуватись для виготовлення різних наноструктур на основі Si або Si/Ge. Отримані структури мають великий потенціал для застосування в різних областях: накопичення енергії, перетворення сонячної енергії, створення супергідрофобних матеріалів, використання теплової потужності, хімічні та біологічні сенсори. Також, отримана технологія формування сонячних елементів може використовуватись на підприємствах для виготовлення панелей сонячних елементів з підвищеним коефіцієнтом корисної дії.ukМКХТпірамідальні структуритекстуруваннянанодротиSEMтравлення поверхніморфологія поверхнімікротекстуруванняФЕПсонячний елементметод скінченних елементівпасиваціяfinal element methodpassivationMecEtchPyramid structurestexturenanowiressurface handlingsurface morphologymicroteksturationPECsolar elementMaster Thesis91 c.669; 621.315; 621.793