Домбругов, Михайло Ремович2018-10-182018-10-182018Домбругов, М. Р. Моделювання технології напівпровідникових матеріалів. Лабораторний практикум [Електронний ресурс] : навчальній посібник для студентів, які навчаються за спеціальністю 153 – «Мікро- та наносистемна техніка», спеціалізацією «Мікро-та наноелектронні прилади і пристрої» / М. Р. Домбругов ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 738,35 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2018. – 51 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/24860ukфазові рівновагифазовые равновесияphase equilibraдіаграма станудиаграмма состоянияstate diagramзонна плавказонная плавкаzone meltingепітаксіяэпитаксияepitaxyрегулярний розчинрегулярный растворregular solutionпримусове охолодженняпринудительное охлаждениеforced coolingМоделювання технології напівпровідникових матеріалів. Лабораторний практикумBook51 с.