Верцанова, Олена ВікторівнаКовтун, Богдан Юрійович2024-06-272024-06-272024Ковтун, Б. Ю. Сканувальна електронна мікроскопія для дослідження епітаксійних плівок : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Ковтун Богдан Юрійович. – Київ, 2024. – 80 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67522Об'єкт дослідження – сканувальна електронна мікроскопія. Предмет дослідження – сканувальна електронна мікроскопія як метод дослідження епітаксійних плівок. Мета роботи – дослідження сканувальної електронної мікроскопії як методу вивчення епітаксійних структур. В роботі було здійснено аналіз скануючої електронної мікросокопії як методу дослідження епітаксійних структур, розглянуто проблематику дефектів епітаксійних структур та методи їх вивчення, описано склад скануючого електронного мікроскопа та можливості його застосування для дослідження матеріалів та структур, проаналізовано переваги СЕМ у сфері дослідження епітаксійних плівок, розглянуто метод EBSD та особливості його застосування у процесі дослідження епітаксйних плівок. Встановлено, що скануюча електронна мікроскопія як метод пізнання епітаксійних структур дозволяє досліджувати морфологію матеріалів, здійснювати аналіз хімічного складу матеріалу, створювати нові каталізатори з заданими властивостями поверхні, досліджувати структури проміжних рядів між композиціями, вивчати процеси деформації матеріалів, контролювати якість матеріалів, здійснювати вимірювання лінійних розмірів елементів мікроструктур у матеріалах.80 с.ukскануюча електронна мікроскопія (СЕМ)епітаксіяепітаксійні плівкидефекти структур епітаксіних плівокРЕМнапівпровідникнапівпровідникова структураметод EBSDscanning electron microscopy (SEM)epitaxyepitaxial filmsdefects in the structures of epitaxial filmsSEMsemiconductorsemiconductor structureEBSD methodBachelor Thesis