Шмирьова, Людмила МиколаївнаСлободян, Ніна Вячеславівна2019-11-192019-11-192015Методичний посібник до вивчення курсу «Вакуумна та плазмова електроніка». Частина 1. Фізичні основи генерації плазми [Електронний ресурс] / Л. М. Шмирьова, Н. В. Слободян ; НТУУ «КПІ». – Електронні текстові дані (1 файл: 2,2 Мбайт). – Київ : НТУУ «КПІ», 2015. – 102 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30092ukгазовий розрядзаряджена частинкаплазмаелектричний пробійструм у газітліючий розряддуговий розрядіскровий розрядкоронний розрядвисокочастотний розрядпоглинання газукатодне розпиленняМетодичний посібник до вивчення курсу «Вакуумна та плазмова електроніка». Частина 1. Фізичні основи генерації плазмиMethodical Material102 с.621.38