Родіонов, Михайло КузьмичПостнов, Ян Олегович2020-07-272020-07-272020Постнов, Я. О. Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Постнов Ян Олегович. – Київ, 2020. – 63 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35319Дипломна робота присвячена аналізу тонкоплівкого ємісного сенсора тиску та методів зменшення масогабаритних розмірів ємнісних сенсорів тиску та підвищення їх механічних та фізико-електричних характеристик. У роботі проведено детальний аналіз сучасних сенсорів тиску Представлені способи використані у тонкоплівкоплівкому ємнісному сенорі тиску для зменшення розмірів та покращення характеристик. Проаналізована перспективність використання обраного сенсора у сферах діяльності з урахуванням особливостей та переваг даного типу датчиків тиску.ukтонкоплівкийтонкі плівкиємнісний сенсор тискудатчик тискузменшення розмірівsize reductionthin-film sensorsthin filmscapacitive pressure sensorpressure sensorBachelor Thesis63 с.