Родіонов, Михайло КузьмичПостнов, Ян Олегович2020-07-272020-07-272020Постнов, Я. О. Тонкоплівковий ємнісний сенсор тиску : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Постнов Ян Олегович. – Київ, 2020. – 63 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35319ukтонкоплівкийтонкі плівкиємнісний сенсор тискудатчик тискузменшення розмірівsize reductionthin-film sensorsthin filmscapacitive pressure sensorpressure sensorТонкоплівковий ємнісний сенсор тискуBachelor Thesis63 с.