Душейко, Михайло ГригоровичКольцов, Георгій СергійовичОбухова, Тетяна Юріївна2020-04-222020-04-222017Душейко, М. Г. Особливості фотолюмінесценції та спектрів пропускання тонких шарів пористого кремнію на діелектричних основах / Душейко М. Г., Кольцов Г. С., Обухова Т. Ю. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2017. – Т. 22, № 6(101). – С. 6–11. – Бібліогр.: 13 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33039ukпористий кремнійфотолюмінесценціяхімічне травленняспектртонкі плівкиporous siliconphotoluminescencechemical etchingspectrumthin filmsпористый кремнийфотолюминесценцияхимическое травлениетонкие пленкиОсобливості фотолюмінесценції та спектрів пропускання тонких шарів пористого кремнію на діелектричних основахFeatures of photoluminescence and transmission spectra of thin film porous silicon layers on insulator substratesОсобенности фотолюминесценции и спектров пропускания тонких слоев пористого кремния на диэлектрических подложкахArticleС. 6-11https://doi.org/10.20535/2523-4455.2017.22.6.42663621.383