Обухова, Тетяна ЮріївнаЧубенко, Юрій Юрійович2019-01-172019-01-172018Чубенко, Ю. Ю. Сенсори з наноструктурованим чутливим шаром : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Юрій Юрійович Чубенко. – Київ, 2018. – 90 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/25863Робота складається з 88 сторінок, 4 розділів та містить 33 ілюстрації, 23 таблиці та 18 джерел в переліку посилань. Актуальність теми. Постійно зростає необхідність контролювати стан та параметри навколишнього середовища, тому не дивно, що буде рости і інтерес до розроблення та створення нових високочутливих селективних сенсорів, що зможуть забезпечити швидкість, а головне якість та надійність у вимірюванні фізичного впливу або різних характеристик речовин. Метою роботи є дослідження можливості створення сенсорів глюкози на основі сенсорів перекису водню, розроблення технологічних засад створення та дослідження сенсора на основі пористого кремнію з наноструктурованим чутливим шаром срібла. Реалізація поставленої мети потребує вирішення наступних задач: 1. Аналіз впливу морфології структури на селективність до певних речовин. 2. Встановити залежність чутливості до шару срібла речовин аналітів. 3. Експериментально дослідити та встановити закономірності впливу параметрів процесу формування наноструктурного чутливого шару на селективність отриманих зразків. Об’єкт дослідження – сенсори на основі пористого кремнію з наноструктурованим чутливим шаром срібла та їхні характеристики. Предмет дослідження – технологічні режими одержання та морфологія наноструктурованого чутливого шару срібла, чутливість до перекису водню та глюкози.ukпористий кремнійнаноструктурований чутливий шарсенсори перекису воднюсенсори глюкозиporous siliconnanostructured sensitive layerhydrogen peroxide sensorsglucose sensorsMaster Thesis90 с.543.08