Мачулянський, Олександр ВікторовичШимко, Гліб Юрійович2020-01-102020-01-102019-12Шимко, Г. Ю. Фотодіоди ІЧ-діапазона на основі монокристала InSb : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Шимко Гліб Юрійович. – Київ, 2019. – 90 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/30699Пояснювальна записка до дипломної роботи містить: 92 сторінок, 28 таблиць, 16 рисунків, 33 бібліографічних найменування. У цій роботі досліджено та впроваджено дослідницьку роботу щодо утворення фотодіодів на основі монокристалів InSb шляхом іонної імплантації. Технічний шлях утворення фотодіодів на основі монокристала InSb шляхом імплантації іонами, тобто апаратом, в якому виконується процес формування області pn-з’єднання, тобто підготовка пластини початкового кристала антимоніду індію, імплантація іона, одиночного InSb після імплантації Кристалічний допінг. Також було розглянуто моделювання та редагування оптимальних технічних шляхів для цих процесів з подальшим аналізом та порівнянням готового зразка та його характеристик.ukіонна імплантаціямонокристалантимонід індіяфотодіодMaster Thesis90 с.