Свєчніков, Георгій СергійовичДіденко, Юрій Вікторович2019-05-272019-05-272019Свєчніков, Г. С. Інтегральна мікроелектроніка. Конспект лекцій [Електронний ресурс] : навчальний посібник для здобувачів ступеня магістра за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» / Г. С. Свєчніков, Ю. В. Діденко ; КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Електронні текстові дані (1 файл: 16,17 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – 454 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/27718ukмікроелектронікананоелектронікамікромініатюризаціялітографіяBook454 с.