Борисов, Олександр ВасильовичЛупина, Борис Іванович2017-03-272017-03-272017Лупина, Б. І. Мікромеханічні терморезисторні перетворювачі : дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 – твердотільна електроніка / Лупина Борис Іванович. – Київ, 2017. – 169 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19108ukтерморезисторний первинний перетворювачмікроелектромеханічна систематепловий опіркалориметричний методMEMS thermal transducerself-heatingthermal feedbackcalorimetric sensorтерморезисторный первичный преобразовательмикроэлектромеханическая систематепловое сопротивлениекалориметрический методМікромеханічні терморезисторні перетворювачіThesis Doctoral169 с.621.382:[621.3.049.77:621.316.825](043.3)