Цибуленко, Вадим ВолодимировичШутов, Станіслав ВікторовичБоскін, Олег Осипович2021-04-062021-04-062020Цибуленко, В. В. Особливості використання методу скануючої рідиннофазової епітаксії для вирощування товстих епітаксійних шарів / В. В. Цибуленко, С. В. Шутов, О. О. Боскін // Наукові вісті КПІ : міжнародний науково-технічний журнал. – 2020. – № 3(130). – С. 58–64. – Бібліогр.: 14 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/40448ukскануюча рідиннофазова епітаксіясила Ампераріст у градієнті температуриscanning liquid phase epitaxyAmpere forcetemperature gradient growthсканирующая жидкофазная эпитаксиярост в градиенте температурыОсобливості використання методу скануючої рідиннофазової епітаксії для вирощування товстих епітаксійних шарівThe Features of Scanning Liquid Phase Epitaxy Technique as Applied to Thick Epitaxial Layers GrowthОсобенности применения мотода сканирующей жидкофазной эпитаксии для выращивания толстых эпитаксиальных слоевArticleС. 58-64https://doi.org/10.20535/kpi-sn.2020.3.197877621.3/548.25/548.5/67.02/67.05