Дмитриев, Вадим СергеевичДмитриева, Любовь БорисовнаШвец, Евгений Яковлевич2018-06-182018-06-182018Дмитриев, В. С. Технологические особенности изготовления СВЧ прибора с барьерами Шоттки / В. С. Дмитриев, Л. Б. Дмитриева, Е. Я. Швец // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – 2018. – Т. 61, № 2 (668). – C. 108–116. – Библиогр.: 28 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/23478Полный текст доступен на сайте издания по подписке: http://radio.kpi.ua/article/view/S002134701802005Xruбарьер ШотткиСВЧ приборарсенид галлияэпитаксиальная пленкатравлениережим термообработкиконтактТехнологические особенности изготовления СВЧ прибора с барьерами ШотткиArticleС. 108-116https://doi.org/10.20535/S002134701802005X621.382.2/3