Ліневич, Я. О.Коваль, В. М.Душейко, М. Г.Сачевнік, В. Л.Лакида, М. О.2024-03-082024-03-082023Дослідження впливу параметрів синтезу кремнієвих нанониток на характеристики фоточутливих сенсорів / Ліневич Я. О., Коваль В. М., Душейко М. Г., Сачевнік В. Л., Лакида М. О. // Вісник КПІ. Серія Приладобудування : збірник наукових праць. – 2023. – Вип. 66(2). – С. 52-59. – Бібліогр.: 17 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/65359Проблематика. Фоточутливі сенсори широко застосовуються як у повсякденному житті в кліматсистемах, так і в засобах зв’язку та освітленості вулиць. Для покращення робочих параметрів фоточутливих сенсорів запропоновано використовувати кремнієві нанонитки (КНН). Велику кількість досліджень присвячено впливу технологічних параметрів синтезу на розміри КНН. Однак для ефективного використання КНН у складі сенсорів бракує дослідження впливу поверхневої морфології масиву КНН на електричні та фоточутливі параметри сенсорів на їх основі. Мета роботи. Метою даної роботи є синтез кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення (МАСЕ), дослідження їх поверхневої морфології та виготовлення фотодіодів на їх основі для встановлення впливу параметрів синтезу КНН на характеристики фоточутливих сенсорів з огляду на особливості їх будови. Результати досліджень. Синтезовано та досліджено фоточутливі сенсори діодного типу на основі КНН. Показано вплив наступних технологічних параметрів синтезу КНН на їх латеральну і вертикальну морфологію та робочі характеристики діодних сенсорів на їх основі: часу першого та другого етапу МАСЕ, вмісту нітриду срібла та перекису водню в розчинах першого та другого етапу МАСЕ, а також текстурування поверхні та обробки в ізотропному та анізотропному травниках. Максимальні робочі параметри одержаних фоточутливих сенсорів на основі масиву КНН були наступними: коєфіцієнт випрямлення 1320 та коєфіцієнт фоточутливості 3,1 мА/лмВ. Висновки. Одержані результати свідчать про те, що технологічні параметри першої та другої стадії МАСЕ та пре- і пост- хімічна обробка мають значний вплив на збільшення шорсткості поверхні, висоти і пористості КНН, що в свою чергу впливає на електричні та фоточутливі параметри сенсорів. Встановлено оптимальні параметри синтезу КНН для одержання максимальної фоточутливості.ukметало-стимульоване хімічне травленняфоточутливі сенсорифотодіодикремнієві нанониткиmetal-assisted chemical etchingphotosensitive sensorsphotodiodessilicon nanowiresArticleС. 52-59621.38