Орлов, Анатолій ТимофійовичАндрійченко, Денис Геннадійович2024-06-262024-06-262024Андрійченко, Д. Г. Модель тонкоплівкового пʼєзоелектричного резонатора на нітриді галію : дипломна робота … бакалавра : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Андрійченко Денис Геннадійович. – Київ, 2024. – 52 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67488Об’єктом дослідження є тонкоплівкові п’єзоелектричні резонатори. Предметом роботи - моделювання тонкоплівкових п’єзоелектричних резонаторів на основі нітриду галію. Метою роботи є дослідження моделей тонкоплівкових резонаторів та отримання частотних характеристик досліджуваних резонаторів. В першому розділі було розглянуто актуальність використання тонкоплівкових п’єзоелектричних резонаторів, існуючі структури таких резонаторів, а також було проведено огляд характеристик нітриду галію. В другому розділі було розглянуто існуючі моделі, які використовуються для моделювання тонкоплівкових п’єзоелектричних резонаторів. В третьому розділі було проведено розрахунок параметрів та моделювання тонкоплівкові п’єзоелектричні резонатори з використанням модифікованої моделі Баттерворта-Ван Дайка та RLC-моделі. Також було отримано амплітудно-частотні характеристики та залежності імпедансу від частоти.52 с.ukтонкоплівковий п’єзоелектричний резонатормодель тонкоплівкового п’єзоелектричного резонаторамодифікована модель Баттерворта-Ван Дайкаthin-film bulk acoustic resonatorthin-film bulk acoustic resonator modelTFBARmodified Butterworth-Van Dyke modelmBVDBachelor Thesis