Круглов, Іван ОлександровичКалієвський, Михайло Сергійович2025-06-302025-06-302025Калієвський, М. С. Вплив опромінення іонами Ar+ та N+ на структуру та фазовий склад нанорозмірних плівок Ni/Ti : дипломна робота ... бакалавра : 132 «Матеріалознавство» / Калієвський Михайло Сергійович. – Київ, 2025. – 73 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/74516Основною метою роботи є визначення впливу опромінення іонами різного типу (Ar+, N+) на зміни структури, фазового складу та пошарового розподілу компонентів в нанорозмірних плівках Ni(30 нм)/Ti(30 нм). Для виконання поставлених задач були використані рентгеноструктурний фазовий аналіз та метод спектрометрії вторинних іонів. В результаті виконання роботи осаджено методом магнетронного розпорошення три тонкоплівкові композиції Ni(30 нм)/Ti(30 нм), проведена їх обробка іонами різних типів, досліджено їх структуру, хімічний та фазовий склад.ukіонна обробкасплави з ефектом пам’яті формиструктурно-фазові перетвореннятонкоплівкові композиціїion beam processingshape memory alloysstructuralphase transformationsthin film compositionsВплив опромінення іонами Ar+ та N+ на структуру та фазовий склад нанорозмірних плівок Ni/TiBachelor Thesis73 с.