Волошко, Світлана МихайлівнаЛозова, Анна Василівна2023-05-092023-05-092022-12Лозова, А. В. Вплив атмосфери відпалу на термічну стабільність нанорозмірної плівкової системи Ni/Cu/V / Лозова А. В. : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство. – Київ, 2022. – 94 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/55410Проаналізовано особливості структурно-фазових перетворень, дифузійного масопереносу та модифікації поверхні під час термічної обробки до температури 550 °С плівкових композицій Ni/Cu/V/Si(100) з товщиною шарів 25 нм в нейтральному середовищі (Ar) в порівнянні з відпалом у вакуумі (10-3 Па) за допомогою комплексу сучасних фізичних методів дослідження. Встановлено, що у температурному інтервалі 300 – 500 °С атоми Cu на початкових етапах відпалу дифундують границями зерен Ni, а атоми Ni – в об’єм зерен Cu, що зумовлює формування двох твердих розчинів на основі Cu з різною концентрацією Ni не залежно від атмосфери відпалу. Показано, що вакуумний відпал у порівнянні з відпалом у середовищі Ar дозволяє зменшити на 100 °C температуру утворення твердого розчину заміщення на основі Cu і зменшує концентрацію Ni в цьому твердому розчині з 23 ат.% до 5 ат.%. Доведено, що адгезійний шар V запобігає змішуванню атомів Cu та Ni з підкладкою кремнію та запобігає утворенню силіцидів за температур нижчих 400 °C під час відпалу в середовищі аргону. Подальше підвищення температури відпалу обумовлює дифузію атомів V до зовнішньої поверхні з його сегрегацією в приповерхневій області. Визначено, що приповерхневий шар Ni запобігає окисненню провідного шару Cu у температурному інтервалі 300 – 500 °С в обох середовищах термічної обробки. Рекомендовано для підвищення термічної стабільності тришарової нанорозмірної системи Ni/Cu/V/Si(100) застосовувати відпал у вакуумі замість відпалу в нейтральному середовищі. Роботу виконано в рамках міжнародного проєкту СРДФ "Високоефективні багатошарові тонкоплівкові металеві контакти для сонячних елементів нового покоління" з Каліфорнійським університетом UCLA в Лос-Анджелесі.94 с.ukаргонмідьнікельструктурно-фазові перетворенняMaster Thesis