Кузьмичєв, Анатолій ІвановичСидоренко, Сергій Борисович2021-04-112021-04-112021Сидоренко, С. Б. Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею : дис. … канд. техн. наук. : 05.27.02 – вакуумна, плазмова та квантова електроніка / Сидоренко Сергій Борисович. – Київ, 2021. – 226 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/40514ukпокриття з розгалуженою поверхнеюімпульсний розряд в схрещених поляхімпульсний модуляторіонно-плазмове осадженнятермоіонне осадженняімпульсне магнетронне розпиленняелектронно-променеве випаровуванняпитома ємність конденсаторної фольгиcoating with voluminous surfacepulse discharge in crossed fieldspulse modulatorion-assisted depositionthermoionic depositionpulsed magnetron sputteringelectron-beam evaporationspecific capacity of capacitor foilпокрытие с развитой поверхностьюимпульсный разряд в скрещённых поляхимпульсный модуляторионно-плазменное осаждениетермоионным осажденияимпульсное магнетронного распыленияэлектронно лучевое испарениеудельная емкость конденсаторной фольгиThesis Doctoral226 с.537.521, 537.525, 533.9.07, 621.38, 62-408.8