Чернов, Артем СергійовичСачевнік, Вячеслав Леонідович2026-01-142026-01-142024Сачевнік, В. Л. Моделювання сенсорів температури на основі кремнієвих нанониток : магістерська дис. : 176 Мікро- та наносистемна техніка / Сачевнік Вячеслав Леонідович. – Київ, 2024. – 61 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/78112Об’єктом дослідження є польові транзистори на основі кремнієвих нанониток та сенсори на їх основі. Предмет роботи – проектування сенсора температури на основі SiNW та дослідження електричних та чутливих характеристик. Мета роботи – створення моделі сенсора температури на основі SiNW для практичного використання. В першому розділі проведено огляд існуючих сенсорів параметрів навколишнього середовища і біосенсорів на основі кремнієвих нанониток, їх характеристики, параметри та застосування. В другому розділі представлено огляд літератури, в якому розглядаються технологічні засади та реалізація різних методів синтезу кремнієвих нанониток в рамках підходів «знизу-вгору» та «зверху-вниз», вплив технологічних параметрів методу на структурні особливості SiNWs-структур. Третій розділ присвячено аналізу існуючих моделей сенсорів на основі SiNWs та підходам та методам моделювання даних електронних пристроїв. В четвертому розділі подано результати моделювання сенсора температури на основі SiNW, дослідження електричних та чутливих характеристик та порівняння з існуючими аналогами. Визначено параметри SPICE моделі SiNWs транзистора та запропоновано принципову схему сенсора температури.61 с.ukкремнійнанониткисенсор температурипольовий транзисторMaster Thesis