Орлов, Андрій КостянтиновичШкоденко, Костянтин Володимирович2025-01-242025-01-242024Шкоденко, К. В. Вплив матеріалу підкладки на морфологію, електрофізичні та трибологічні властивості тонкоплівкового аморфного вуглецю : магістерська дис. : 132 Матеріалознавство / Шкоденко Костянтин Володимирович. – Київ, 2024. - 71 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/72175Об’єкт досліджень: нанорозмірні плівкові вуглецеві аморфні матеріали, осаджені на підкладки з полірованого монокристалічного Si(100), ситалу та скла методом електродугового розпорошення в вакуумі. Предмет дослідження: термічна стабільність та адгезійна міцність аморфних вуглецевих плівок на різних підкладках в умовах низькотемпературного відпалу. Мета роботи: дослідити вплив матеріалу підкладки на термічну стабільність, зміну морфології поверхні та адгезійної міцності після термічної обробки аморфних вуглецевих тонкоплівкових матеріалів. Методи дослідження: чотирьохзондова резистометрія, оптична мікроскопія, скануюча електронна мікроскопія, рентгеноструктурний фазовий аналіз. Результати досліджень та їх новизна: термічна обробка аморфного вуглецю за температури 200 °C суттєво зменшує електроопір, збільшує адгезію, не впливаючи на морфологію поверхні. Сфера застосування: мікро- та наноелектроніка, захисне покриття в агресивних середовищах, фотовольтаїка.71 с.ukадгезіяаморфний вуглецьтермічна обробкатонкоплівкові матеріалирезистометріяMaster Thesis