Якименко, Юрій ІвановичСолощук, Богдан Павлович2023-03-012023-03-012022Солощук, Б. П. Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Солощук Богдан Павлович. – Київ, 2022. – 62 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/53196Магістерська дисертація присвячена темі дослідження основних характеристик тонких плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень. Метою роботи є аналіз властивостей тонких плівок оксиду цинку, легованого алюмінієм та азотом, осаджених магнетронним методом в умовах бідних на кисень. Представлено огляд робіт, присвячених спільному легуванню донорними та акцепторними домішками плівок ZnO. Описано типи співлегування та основні методи осадження тонких плівок, із зазначеними перевагами та недоліками. Проведено аналіз властивостей плівок ZnO:Al,N вирощених при різному тиску азоту в камері осадження та в умовах бідних на кисень. Було проаналізовано результати оптичних, структурних досліджень, а також обговорено результати дослідів.ukоксид цинкуZnO:Al,Nосадження тонких плівоквисокочастотне магнетронне напиленняспівлегуванняMaster Thesis62 с.