Якименко, Юрій ІвановичСолощук, Богдан Павлович2023-03-012023-03-012022Солощук, Б. П. Властивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисень : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Солощук Богдан Павлович. – Київ, 2022. – 62 с.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/53196ukоксид цинкуZnO:Al,Nосадження тонких плівоквисокочастотне магнетронне напиленняспівлегуванняВластивості плівок ZnO:Al,N, вирощених в умовах бідних на кисеньMaster Thesis62 с.