Діденко, Юрій ВікторовичТатарчук, Дмитро Дмитрович2022-06-132022-06-132022Основи технології виготовлення елементів мікро- та наносистемної техніки. Текст лекцій [Електронний ресурс] : навч. посіб. для здобувачів ступеня бакалавра за освітньою програмою «Мікро- та наноелектроніка» спеціальності 153 Мікро- та наносистемна техніка» / КПІ ім. Ігоря Сікорського ; уклад.: Ю. В. Діденко, Д. Д. Татарчук. – Електронні текстові дані (1 файл: 9,01 Мбайт). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – 113 с. – Назва з екрана.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/47890ukмікросистемна технікананоелектромеханічні пристроїMethodical Material113 с.0000-0001-7305-85190000-0003-1171-6701