Лендєл, В. В.Степахно, І. В.Яровой, Л. К.2022-07-262022-07-262022Лендєл, В. В. Метод мультихвильової гетеродинної інтерферометpії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення / Лендєл, В. В., Степахно, І. В., Яровой, Л. К. // XХI Міжнародна науково-технічна конференція “Приладобудування: стан і перспективи”, 17–18 травня 2022 р., Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 125-128. – Бібліогр.: 7 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/49343ukінтерферометріярефлектометріявимірювання товщин плівокArticleС. 125-128534 +531.7+53.082