Макогон, Ю. М.Кудрявцев, Ю. В.Павлова, О. П.Сидоренко, С. І.Вербицька, Т. І.2020-09-072020-09-072009Вплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості / Ю. М. Макогон, Ю. В. Кудрявцев, О. П. Павлова, С. І. Сидоренко, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2009. – № 3(65). – С. 35–41. – Бібліогр.: 20 назв.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/36016ukArticleС. 35–41