Кисіль, О. С.Kysil, O. S.Кисиль, О. С.2015-03-192015-03-192010Кисіль, О. С. Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки / О. С. Кисіль // Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування : збірник наукових праць. – 2010. – № 40. – С. 149–153. – Бібліогр.: 3 назви.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/10999ukйонне травленняшвидкість травленняion etchingetching speedионное травлениескорость травленияФормування нанорозмірів структур мікроелектронікиFormation of nano-sizes in microelectronicsФормирование наноразмеров структур микроэлектроникиArticleС. 149-153621.3.049.772