Shevkun, S. M.Kvasnikov, V. P.Dobroliubova, M. V.Statsenko, O. V.Shevkun, M. S.2025-09-162025-09-162025Integrated precision capacitive rotation angle sensor for aerospace applications based on MEMS technology / Shevkun S. M., Kvasnikov V. P., Dobroliubova M. V., Statsenko O. V., Shevkun M. S. // XXІV Міжнародна науково-технічна конференція "Приладобудування: стан і перспективи", 13-14 травня 2025 р., м. Київ, Україна : збірник матеріалів конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2025. – С. 411-413. – Бібліогр. 4 назви.https://ela.kpi.ua/handle/123456789/76077enrotation angle sensorMEMS technologycalculation capacitorArticleС. 411-413629.05