Діелектричні плівки для ІЧ фотодетекторів нанесені хімічним газофазним осадженням
Вантажиться...
Дата
2019-12
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Загальний обсяг роботи складає 74 сторінок, 22 рисунка, 28 таблиць та 22 бібліографічних найменування.
Актуальність теми пов’язана із досить активними дослідженнями у даній області, навіть з урахуванням того, що вже наявні досить велика кількість досліджень саме в цій області. Відбувається це із-за того, що вчені намагаються вдосконалити процес нанесення діелектричних плівок для отримання максимально ефективних параметрах для відповідних областей використання. В даній роботі основний акцент зроблений на захисних властивостях та стабільності плівок.
Метою роботи є отримання діелектричних плівок для ІЧ фотодетекторів, які повинні володіти гарними захисними властивостями, гарною полосою пропускання та саме головне – стабільністю в робочому діапазоні спектру.
Розглянуті різні методи нанесення діелектричних плівок, технологічний маршрут формування діелектричних плівок на пластинах InSb, обладнання за допомогою якого виконуються процеси формування плівок. За рахунок аналізу різних методів формування діелектричних плівок, знайдено найбільш ефективний метод для виконання поставленої цілі, а саме метод хімічного газофазного осадження. Далі були розглянуті переваги та недоліки використання саме цього методу формування діелектричних плівок та приведені приклади готових зразків та їх характеристик.
Для досягнення поставленної мети в роботі проводилися експериментальні дослідження з нанесення діелектричних плівок в різних умовах, їх аналіз за допомогою методів ІЧ-спектроскопії, та знаходився максимально оптимальний режим нанесення плівок, для отримання гарного результату.
Практичне значення даної роботи полягає в дослідженні отриманих плівок та отриманні якісних характеристики для їх подальшого використання завдяки отриманим даним.
Опис
Ключові слова
ІЧ фотодетектор, фотодіод, антимонід індію, діелектричні плівки, хімічне газофазне осадження, спектр, спектральна характеристика
Бібліографічний опис
Бондаренко, М. О. Діелектричні плівки для ІЧ фотодетекторів нанесені хімічним газофазним осадженням : магістерська дис. : 153 Мікро - та наносистемна техніка / Бондаренко Максим Олександрович. – Київ, 2019. – 75 с.