Електрохімічна поведінка кремнію у травильних розчинах плавикової та нітратної кислот
Вантажиться...
Дата
2021
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
В магістерській дисертації проведено літературний пошук по створенню омічних контактів метал-напівпровідник, дослідженню процесів хімічного травлення у плавиковій та нітратній кислоті, фотоелектричні властивості напівпровідників. Створено електрохімічну комірку, отримано електрод з контактом метал-напівпровідник. Отримані циклічні вольт-амперні характеристики у розчинах плавикової та нітратної кислоти різних концентрацій і за різної інтенсивності освітлення. Методом скануючої електронної мікроскопії встановлено структуру кремнію після травлення у розчині. Показано вплив освітлення на інтенсивність травлення у розчинах. Визначено вплив реверсивного режиму подачі напруги на процес травлення у розчині, що містить плавикову і нітратну кислоту. Зроблено висновки про природу протікаючих реакцій на електродах. Визначено оптимальний режим травлення, необхідну концентрацію компонентів і ступеню освітленості в залежності від необхідного результату.
Опис
Ключові слова
кремній,, напівпровідні матеріали, травлення кремнію, P – N – переходи, фотоелектричні властивості напівпровідників.
Бібліографічний опис
Аксьонова, О. В. Електрохімічна поведінка кремнію у травильних розчинах плавикової та нітратної кислоти : магістерська дис. : 161 Хімічні технології та інженерія / Аксьонова Ольга Володимирівна. – Київ, 2021. – 79 с.