Автоматизована комп'ютерно-інтегрована оптико-електронна літографічна система
Вантажиться...
Дата
2024
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Ця робота спрамована на поліпшення роботи комп’ютерно-інтегрованної оптико-електронної літогафічної системи нанесення фарби та опромінення її в малому діапазоні. Прилад дозволяє автоматизувати робочі процеси за допомогою сучасних технологій та забезпечити швидке, точне виконання необхідної роботи у доволі швидкий час.
Досить багато уваги приділяється розробці приладу, який забезпечує компактність конструкції механізму та унікальності його роботи у відповідній сфері діяльності.
Опис
Ключові слова
літографія, опромінення
Бібліографічний опис
Сахнюк, А. Ю. Автоматизована комп'ютерно-інтегрована оптико-електронна літографічна система : дипломний проєкт ... бакалавра :
151 Автоматизація та комп’ютерно-інтегровані технології / Сахнюк Аліна Юріївна. – Київ, 2024. – 85 с.