Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorДідусь, Р. І.
dc.contributor.authorЛапшуда, В. А.
dc.contributor.authorГондовська, А. С.
dc.contributor.authorЯщенко, О. В.
dc.date.accessioned2023-03-31T11:41:57Z
dc.date.available2023-03-31T11:41:57Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractУ статті розглянуто використання біополімерного матеріалу (наноцелюлози) як гнучкої підкладки для осадження функціональних шарів електронних приладів. Плівки оксиду молібдену осаджувались на поверхню наноцелюлози методом йонно-променевого розпилення в низькотемпературних режимах без наступного відпалу. Було виміряно спектри оптичної прозорості отриманих зразків у вихідному та зігнутому станах та встановлено вплив пружної деформації зразку з радіусом згину 5 мм на коефіцієнт оптичного пропускання в ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах спектру. При цьому було показано, що оптична прозорість вихідних зразків під час згину може зменшуватись на 12-15% порівняно з вихідним станом. Мінімальна величина впливу згину на коефіцієнт оптичного пропускання (від 0,7 до 3,3%) спостерігається для плівок оксиду молібдену, синтезованих за температури 50С. Одержані результати можуть бути використані при розробці гнучких електронних приладів на основі оксиду молібдену.uk
dc.description.abstractotherWith its unprecedented properties over conventional rigid platforms, flexible electronics have been a significant research topic in the last decade, offering a broad range of applications from bendable display, flexible solarenergy systems, to soft implantable-devices for health monitoring. Flexible electronics is a disruptive science that requires a high level of multi-disciplinary research, including chemistry, physics, material science, electronic and electrical engineering, mechanical engineering, computing science, biomedical engineering. The deep cross-integrate of it with other key subjects such as artificial intelligence, material science, Internet of things, space science, health science, energy science and data science, breaks through the intrinsic limitations of convention silicon electronics and affords unprecedented opportunities for relative industries involving integrated circuit, new and renewable. One way to reduce the cost of photoconverters is to use transition metal oxide, which is characterized by better solar energy conversion efficiency. MoO3 is one of the promising candidates due to its nontoxicity, deep electronic state and relative lower vaporization temperature, which can easily deposited in vacuum. In contrast, the other transition metal oxides need relative higher evaporation temperature to deposit the film. The conventional and common fabrication methods for MoO3 are thermal evaporation or sputtering under vacuum. This work presents molybdenum oxide films grown on nanocellulose. Molybdenum oxide thin films were grown by reactive ion beam sputtering on UVN-75R equipment. Measurements of thin film transparency spectra and the effect of bending on the transparency value were measured using a 4802 UV/VIS Double Beam Spectrophotometer. The energy-dispersion X-ray spectrum showed no impurities. The chemical composition of molybdenum oxide thin films was studied on the basis of energy-dispersion analysis, in which the characteristic X-ray radiation of the sample surface under the action of accelerated electron irradiation was recorded. For this purpose, a scanning electron microscope REM-106U in the mode of elemental microanalysis was used. The films show high transparency in the visible spectrum, as well as a low influence of bending on the transparency in the ultraviolet spectrum. Bending of the manufactured samples reduces the amount of transparency. Increasing the deposition temperature of the films has the same effect as bending. Combining the excellent electrical properties of MoOx and the high flexibility and transparency of nanocellulose, an excellent replacement for silicon heterostructures has been demonstrated.uk
dc.format.pagerangeС. 227276-1 - 227276-6uk
dc.identifier.citationОсадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки / Дідусь Р. І., Лапшуда В. А., Гондовська А. С., Ященко О. В. // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2021. – Т. 4, № 1. – С. 227276-1 - 227276-6. – Бібліогр.: 13 назв.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.20535/2617-0965.eae.227276
dc.identifier.orcid0000-0003-4252-7049uk
dc.identifier.orcid0000-0002-1234-3743uk
dc.identifier.orcid0000-0002-9795-768Xuk
dc.identifier.orcid0000-0003-3716-8707uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/54170
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.sourceЕлектронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал, 2021, Т. 4, № 1
dc.subjectоксид молібденуuk
dc.subjectнаноцелюлозаuk
dc.subjectгнучка електронікаuk
dc.subjectmolybdenum oxideuk
dc.subjectnanocelluloseuk
dc.subjectflexible electroniсsuk
dc.subject.udc621.3uk
dc.titleОсадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електронікиuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
EAI2021_4-1_227276-1 - 227276-6.pdf
Розмір:
694.32 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.1 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Електронна та Акустична Інженерія: науково-технічний журнал, Т. 4, № 1