Сенсор перекису водню на МДН-транзисторі з пористим кремнієм

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorОбухова, Тетяна Юріївна
dc.contributor.authorЛобода, Богдан Олексійович
dc.date.accessioned2018-05-21T08:10:18Z
dc.date.available2018-05-21T08:10:18Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractenIn the work a literary review was performed, the relevance of the research was determined, as well as the prospect of using porous silicon. A study of H2O2 sensors based on MIS transistors with a layer of porous silicon and hydrogen peroxide catalysts (platinum and silver nanoparticles) on the back side of the substrate in the gate area was performed. Modification of the back side of the sensor is made by metal-stimulated chemical etching. An analysis of the porous structure, measurement of the size of platinum and silver nanoparticles and their effect on the sensitivity of the sensor was performed. Based on the approximation of the obtained voltamper characteristics at different concentrations of hydrogen peroxide, the sensitivity of the hydrogen peroxide sensor was calculated. A technological route has been made for the production of hydrogen peroxide sensors. The work consists of 85 pages, 54 figures, 5 parts.uk
dc.description.abstractukВ роботі виконано літературний огляд, визначена актуальність дослідження, а також перспектива використання пористого кремнію. Виконано дослідження сенсорів H2O2 на основі МДН-транзисторів із шаром пористого кремнію і каталізаторами перекису водню (наночастинками платини та срібла) на зворотній стороні підкладки в області затвору. Модифікація зворотньої сторони сенсора виконана метал-стимульованим хімічним травленням. Було проведено аналіз пористої структури, вимірювання розміру наночастинок платини і срібла та їх впливу на чутливість сенсора. Виходячи з апроксимації отриманих вольтамперних характеристик при різних концентраціях перекису водню, розраховано чутливість сенсора перекису водню. Складено технологічний маршрут з виробництва сенсорів перекису водню. Робота складається з 84 сторінок, 54 рисунків, 5 частин.uk
dc.format.page88 с.uk
dc.identifier.citationЛобода, Б. О. Сенсор перекису водню на МДН-транзисторі з пористим кремнієм : магістерська дис. : 153 Мікро- та наносистемна техніка / Лобода Богдан Олексійович. – Київ, 2018. – 88 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/22975
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectпористий кремнійuk
dc.subjectМДН-транзисторuk
dc.subjectпористістьuk
dc.titleСенсор перекису водню на МДН-транзисторі з пористим кремніємuk
dc.typeMaster Thesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Loboda_magistr.pdf
Розмір:
8.2 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Магістерські роботи (МЕ)
Магістерські роботи