Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 4(60)

Постійне посилання зібрання

https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35454

Переглянути

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Відкритий доступ
Фазоутворення у плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370нм) на монокристалічному кремнії орієнтації (001)
(НТУУ «КПІ», 2008) Макогон, Юрій Миколайович; Сидоренко, Сергій Іванович; Павлова, Олена Петрівна; Вербицька, Тетяна Іванівна